Unrhyw un sydd wedi gweithio o gwmpas-trin afrlladen neusystemau symud manwl gywirmae'n debyg wedi clywed yr ymadrodd "aer yn dwyn ar wenithfaen" yn cael ei daflu o gwmpas heb lawer o esboniad pam mae'r cyfuniad penodol hwnnw'n ymddangos mor aml mewn offer lled-ddargludyddion. Nid yw'n ddewis esthetig nac yn arferiad etifeddol - mae'n ateb eithaf bwriadol i broblem beirianyddol benodol: sut ydych chi'n symud llwyfan gyda nanomedr-gosodiad lefel y gellir ei ailadrodd heb gyflwyno ffrithiant, traul neu ddirgryniad i'r system?
Y broblem sylfaenol gyda Bearings mecanyddol
Mae -elfen rowlio gonfensiynol neu Bearings llinol yn gweithio trwy gyswllt corfforol - peli neu rholeri yn rhedeg mewn trac. Mae'r cyswllt hwnnw, ni waeth pa mor dda y mae wedi'i beiriannu, yn cyflwyno ffrithiant, yn cynhyrchu traul gronynnol dros amser, ac yn trosglwyddo micro-dirgryniadau i'r llwyfan bob tro y mae pêl yn croesi trac amherffeithrwydd. Yn y rhan fwyaf o gyd-destunau diwydiannol, mae hynny'n fater nad yw'n-. Mewn lithograffeg lled-ddargludyddion, archwilio wafferi, neu offer mesureg sy'n gweithredu ar oddefiannau is-micron neu nanomedr, mae'n gyfyngiad gwirioneddol, oherwydd gall llawr sŵn y beryn ei hun fod yn fwy na'r nodwedd rydych chi'n ceisio ei mesur neu ei lleoli.
Sut mae Bearings aer yn ei ddatrys
Mae beryn aer yn disodli cyswllt corfforol gyda ffilm denau, dan bwysau parhaus - sydd fel arfer ychydig o ficronau o drwch - rhwng yr elfen symudol a'i arweinlyfr. Oherwydd nad oes unrhyw gyswllt corfforol, nid oes unrhyw ffrithiant yn yr ystyr draddodiadol, dim gronyn yn cynhyrchu o draul, a dim ffon-ymddygiad llithro ar gyflymder isel iawn (sy'n bwysig iawn ar gyfer camau sydd angen cripian ar gynyddrannau mân iawn yn ystod lleoli mân). Y cyfaddawd yw bod Bearings aer yn mynnu arwyneb canllaw llawer mwy gwastad, mwy cyson nag y mae Bearings mecanyddol yn ei wneud, gan mai dim ond ychydig o ficronau yw trwch y ffilm aer ei hun - mae unrhyw wyriad waviness neu gwastadrwydd yn y canllaw yn dangos yn uniongyrchol fel gwall lleoli neu, mewn achosion gwaeth, fel risg o gysylltiad os yw'r ffilm yn cwympo'n lleol.
Pam gwenithfaen yw'r deunydd canllaw o ddewis
Dyma lle mae eiddo gwenithfaen yn dod yn uniongyrchol berthnasol yn hytrach na dim ond pwynt marchnata generig. Mae angen y canlynol ar ganllaw cludo aer:
Gall gwastadrwydd is{0} micron ar draws pellteroedd teithio hir - gwenithfaen gael ei lapio i oddefiannau gwastadrwydd yn yr ystod is-micron ar draws hyd y canllaw a fyddai'n llawer anoddach ac yn ddrytach i'w gyflawni'n gyson mewn metel cast neu fetel wedi'i beiriannu, yn enwedig ar yr hydoedd aml-fetr sy'n gynyddol gyffredin mewn -waffer fformat mawr a chyfarpar panel.
Sefydlogrwydd dimensiwn tymor hir - mae system dwyn aer ond cystal â gwastadrwydd ei arweinlyfr dros flynyddoedd o ddefnydd, nid dim ond ar y diwrnod gosod. Mae ymwrthedd Gwenithfaen i'r math o ymlacio straen mewnol sy'n effeithio ar fetel bwrw dros amser yn golygu bod y canllaw yn llai tebygol o ddatblygu'r ystwythder araf a fyddai fel arall angen ei ailosod neu ei ailosod o bryd i'w gilydd.
Mae nodweddion dampio naturiol gwenithfaen tampio dirgryniad - yn helpu i amsugno'r sŵn amledd uchel gweddilliol yn y ffilm aer ei hun, sy'n bwysig i'r dolenni lleoli manwl iawn a ddefnyddir mewn offer lithograffeg ac archwilio.
Priodweddau an-magnetig - hanfodol mewn unrhyw system sy'n defnyddio moduron llinol magnetig neu synwyryddion electromagnetig sensitif gerllaw, gan y byddai deunydd canllaw magnetig yn cyflwyno ystumiad maes y byddai angen i synwyryddion safle mecanyddol neu optegol wneud iawn amdano.
Lle mae hyn yn ymddangos mewn offer go iawn
Mae camau cario aer gwenithfaen a chanllawiau yn gyffredin yn:
Offer archwilio a mesureg wafferi, lle mae angen i gamau XY osod afrlladen o dan synhwyrydd pelydr optegol neu electron gyda'r gallu i ailadrodd ymhell islaw micron
Ffotolithograffeg-offer cyfagos, lle mae gwastadrwydd llwyfan a sefydlogrwydd yn cyfyngu'n uniongyrchol ar gywirdeb troshaen
Systemau archwilio arddangos paneli gwastad, sy'n defnyddio arweinlyfrau gwenithfaen fformat mawr yn gynyddol i gwmpasu meintiau paneli ar raddfa
Offer prosesu laser manwl (gan gynnwys systemau laser femtosecond a picosecond), lle mae cywirdeb lleoli trawst yn dibynnu ar safle dal y llwyfan heb ddrifft yn ystod cylchoedd prosesu hir
Cydlynu peiriannau mesur a systemau mesur proffil gan ddefnyddio aer-sy'n dwyn gwerthydau neu gamau llinol ar gyfer ffrithiant-symud rhydd yn ystod sganio
Yr hyn y dylai prynwyr ei wirio mewn gwirionedd
Wrth werthuso canllaw neu sylfaen gludo aer gwenithfaen, nid gwastadrwydd ar bapur yw'r stori gyfan. Mae'n werth holi cyflenwr am y canlynol yn benodol:
Goddefgarwch gwastadrwydd a sut y'i gwiriwyd - yn ddelfrydol gyda mesuriad olrheiniadwy gan ddefnyddio interferometreg laser neu lefelau electronig manwl uchel, nid dim ond honiad cyffredinol o "sail fanwl."
Gall cysondeb grawn y ffynhonnell gwenithfaen - strwythur brasach neu grawn anghyson greu amrywiad arwyneb ar raddfa micro sy'n anweledig i'r llygad ond sy'n ymddangos fel sŵn ym mherfformiad cludwr aer.
Gorffeniad wyneb (garwedd), nid dim ond gwastadrwydd - gall canllaw fod yn wastad yn yr ystyr macro tra'n dal i gael proffil garwedd sy'n effeithio ar gysondeb ffilm aer ar y raddfa micron.
Sefydlogrwydd amgylcheddol yn ystod gweithgynhyrchu - arweinlyfr wedi'i lapio mewn siop tymheredd heb ei reoli mae'n anoddach ei warantu ar nanomedr-goddefiannau cyfagos nag un wedi'i orffen mewn-amgylchedd a reolir gan dymheredd, am resymau sy'n cysylltu'n uniongyrchol yn ôl ag ehangu thermol.
Y llun mwy
Nid yw cyfeiriannau aer ar arweinffyrdd gwenithfaen yn newydd-deb - maen nhw'n ateb gweddol aeddfed, sy'n cael ei ddeall yn dda i broblem benodol: dileu ffrithiant a sŵn mecanyddol o systemau lle nad yw'r gyllideb goddefgarwch yn gadael lle i'r naill na'r llall. Gan fod meintiau wafferi, meintiau paneli, a gofynion datrys arolygu yn parhau i wthio'n dynnach, mae'r gofynion ar y canllaw gwenithfaen ei hun - gwastadrwydd, cysondeb grawn, sefydlogrwydd dimensiwn - yn parhau i fynd yn dynnach iawn ynghyd â nhw.
Os ydych chi'n nodi canllaw neu sylfaen cynnal aer gwenithfaen ar gyfer cymhwysiad lled-ddargludyddion, archwilio neu brosesu laser, rydym yn falch o fynd trwy oddefgarwch gwastadrwydd, manyleb grawn, a methodoleg wirio gyda'ch tîm peirianneg cyn i chi gwblhau dyluniad.