Cyflwyniad: Yr Angen am Ddeinameg Cyflymder Uchel ac Anhyblygrwydd Eithafol
Ym myd -trwybwn uchel arolygu wafferi lled-ddargludyddion, lithograffeg arddangos panel gwastad (FPD), a phecynnu uwch, mae'n rhaid i systemau lleoli gydbwyso dau nod peirianneg sy'n gwrthdaro: cyflymiad deinamig eithafol ac ailadroddadwyedd lleoli is-micron. Er bod seiliau gwenithfaen enfawr yn darparu sylfaen sefydlog ddelfrydol, mae'n rhaid i rannau symudol y system-fel trawstiau nenbont, sleidiau croes, a chamau cyfieithu wafferi-fod mor ysgafn â phosibl i leihau syrthni, lleihau afradu gwres modur, ac atal oedi rhag setlo.
Mae metelau ysgafn traddodiadol fel alwminiwm a thitaniwm yn dioddef o ehangiad thermol uchel ac anystwythder cymharol isel, gan arwain at ystwytho deinamig yn ystod symudiadau cyflymiad uchel. Er mwyn goresgyn y tagfeydd deinamig hyn, mae dylunwyr systemau uwch yn defnyddio cerameg dechnegol yn gynyddol. Mae cydrannau adeileddol arferol UNPARALELED aberynnau aer trachywiredd, wedi'i wneud o Alwmina a Silicon Carbide (SiC) purdeb uchel, sy'n cynrychioli uchafbwynt peirianneg deunydd modern ar gyfer camau symud cyflym iawn.
Silicon Carbide (SiC) yn erbyn Deunyddiau Traddodiadol
Er mwyn deall pam mae Silicon Carbide wedi dod yn ddeunydd o ddewis ar gyfer systemau nenbont cyflymiad uchel, rhaid inni ddadansoddi ei anystwythder penodol. Diffinnir anystwythder penodol fel cymhareb modwlws Young i ddwysedd màs:
Anystwythder Penodol=Modwlws Young wedi'i rannu â Dwysedd
Mae anystwythder penodol uwch yn golygu y gall cydran wrthsefyll grymoedd deinamig uchel a gwrthsefyll plygu heb ychwanegu màs diangen i'r system.
Dur Strwythurol: Dwysedd o 7.85 gram y centimedr ciwbig, Modwlws Young o 210 Giga-Pascals, Anystwythder Penodol o 26.7, Cyfernod Ehangu Thermol o 12.0 x 10^-6 y Kelvin.
Alwminiwm 6061: Dwysedd o 2.70 gram y centimedr ciwbig, Modwlws Young o 69 Giga-Pascals, Anystwythder Penodol o 25.5, Cyfernod Ehangu Thermol o 23.0 x 10^-6 y Kelvin.
Alwmina (99 y cant pur): Dwysedd o 3.90 gram y centimedr ciwbig, Modwlws Young o 370 Giga-Pascals, Anystwythder Penodol o 94.8, Cyfernod Ehangu Thermol o 8.0 x 10^-6 y Kelvin.
Silicon Carbide (SiC): Dwysedd o 3.15 gram y centimedr ciwbig, Modwlws Young o 410 Giga-Pascals, Anystwythder Penodol o 130.1, Cyfernod Ehangu Thermol o 4.0 x 10^-6 y Kelvin.
Fel y dangosir yn y data cymharol hwn, mae Silicon Carbide yn cynnwys anystwythder penodol sydd bron i bum gwaith yn fwy na dur neu alwminiwm. Mae'r fantais gorfforol ddramatig hon yn caniatáu i beirianwyr ANGHyffelyb ddylunio trawstiau strwythurol craidd ysgafn, gwag ar gyfer camau wafferi nad ydynt yn ystwytho, yn troelli nac yn ysigo o dan gyfraddau cyflymu sy'n fwy na 2g (sef tua 19.6 metr yr eiliad sgwâr).
Dylunio a Ffiseg Bearings Aer Ceramig Precision
Mae Bearings aer manwl gywir yn defnyddio ffilm denau o aer sych glân dan bwysau i gynnal llwyth tâl symudol, gan gyflawni symudiad gwisgo sero, di-ffrithiant. Mae trwch y ffilm aer hon fel arfer rhwng 5 a 10 micromedr. Oherwydd bod y ffilm aer mor denau, gall unrhyw wyriad geometrig, micro-garwedd, neu ystumiad thermol yr arwyneb dwyn achosi i'r dwyn chwalu, gan arwain at fethiant trychinebus yn y system.
Mae UNPARALELED yn mynd i'r afael â'r her hon trwy weithgynhyrchu cydrannau sy'n cario aer o Alwmina a Silicon Carbide purdeb uchel. Mae'r deunyddiau hyn yn cynnig nifer o fanteision hanfodol mewn cymwysiadau dwyn aer:
Sefydlogrwydd Dimensiwn Dan Bwysau: Mae modwlws elastig uchel cerameg yn sicrhau nad yw'r wynebau dwyn yn dadffurfio o dan bwysau lleol uchel (yn aml hyd at 0.6 Mega-Pascals) y cyflenwad aer cywasgedig.
Scratch a Gwisgwch Resistance: Os bydd methiant pŵer yn digwydd a bod y cyflenwad aer yn cael ei dorri i ffwrdd yn sydyn, bydd y cam symud yn cysylltu'n uniongyrchol â'r canllaw. O dan yr amodau llithro sych hyn, bydd Bearings metel yn carlamu ac yn atafaelu ar unwaith. Gall rheiliau tywys ceramig, gyda'u caledwch eithafol, oroesi digwyddiadau cyffwrdd cyflym iawn heb unrhyw grafiadau na difrod arwyneb.
Gorffeniad Arwyneb Ardderchog: Trwy falu diemwnt a sgleinio mecanyddol cemegol (CMP), mae UNPARALELED yn gorffen arwynebau tywys ceramig i garwedd arwyneb Ra sy'n llai na neu'n hafal i 0.05 micromedr. Mae'r gorffeniad tebyg i ddrych hwn yn gwarantu bwlch aer hollol unffurf a dynameg ffilm hylif rhagweladwy iawn.
Gweithgynhyrchu a Sicrhau Ansawdd Geometregau Ceramig Cymhleth
Mae sintro a pheiriannu cerameg dechnegol yn broses hynod heriol. Mae sintro powdrau ceramig amrwd ar dymheredd uwch na 2000 gradd Celsius yn achosi crebachu sylweddol, y mae'n rhaid ei gyfrifo a'i reoli'n ofalus.
Yn UNPARALLELED, mae ein cyfleuster gweithgynhyrchu wedi'i gyfarparu â'r{0}}cyflwr{1}}y{2}}celf gwyrdd{- ganolfannau peiriannu cyflwr i siapio'r cydrannau ceramig cyn sintro, wedi'i ddilyn gan systemau malu diemwnt manwl uchel i orffen y rhannau sintered uwch-galed. Rydym yn gallu cynhyrchu proffiliau geometrig cymhleth, gan gynnwys chucks gwactod integredig ar gyfer trin wafferi, cerbydau awyr aml-echel, a drychau cyfeirio gwastad uwch ar gyfer interferometreg laser.
Mae pob cynnyrch terfynol yn destun profion trwyadl yn ein labordai ardystiedig ISO. Gan ddefnyddio interferomedrau laser a pheiriannau mesur cyfesurynnau tri dimensiwn, rydym yn gwirio bod pob cydran ceramig yn bodloni ei oddefiannau geometrig penodedig, gan sicrhau integreiddio di-dor i gamau modur llinellol eich cenhedlaeth nesaf.