Cyswllt mecanyddol yw gelyn manwl gywirdeb nanometr. Mae Bearings Aer ar Ganllawiau Gwenithfaen Precision neu Gerameg yn dileu ffrithiant, gwisgo a dirgryniad. Gyda phlu nodweddiadol-uchder o 5-10 µm a sero-symudiad ffrithiant, mae'r systemau hyn yn galluogi'r cydraniad 10 nm sydd ei angen ar gyfer lithograffeg lled-ddargludyddion uwch a mesureg pen uchel.
1. Dileu Ffrithiant: Y Llwybr i Fywyd Mecanyddol Anfeidrol
Oherwydd nad oes cysylltiad corfforol rhwng rhannau symudol, mae systemau dwyn aer yn profi dim traul. Mae hyn yn sicrhau bod calibradu cychwynnol cam sganio yn parhau'n ddilys am flynyddoedd. Mewn amgylcheddau cylch dyletswydd uchel fel sganio wafferi, mae'r "bywyd anfeidrol" hwn yn lleihau costau cynnal a chadw ac yn dileu'r angen am iro, sy'n hanfodol ar gyfer cydymffurfiad ystafell lân.
2. Cyflawni Is-Symoldeb Micron Dros Ystod Teithio Hir
When an air bearing glides over a DIN 876 Grade 000 granite guide, it averages out the microscopic surface irregularities. This "averaging effect" results in motion straightness that is often superior to the physical guide itself. For long-travel applications (>1000mm), mae hyn yn caniatáu ar gyfer proffil mudiant cyson gyda gwallau onglog lleiaf posibl (traw, rholio, yaw).
3. Dirgryniad Ynysu a Llyfnder Mudiant
Mae Bearings mecanyddol (peli neu rholeri) yn cynhyrchu "sŵn ailgylchredeg" sy'n ymyrryd â mesuriadau sensitif. Mae Bearings aer yn gweithredu ar ffilm denau o aer dan bwysau, gan ddarparu effaith lleithio dirgryniad naturiol. Mae hyn yn arwain at fudiant llyfn iawn gyda chrymedd cyflymder dibwys, sy'n hanfodol ar gyfer delweddu cydraniad uchel a nanomedr{-profi arwyneb ar raddfa.
4. Pam mae Gwenithfaen a Serameg yn Is-haenau Hanfodol Sy'n Gan Aer?
Mae perfformiad dwyn aer yn gwbl ddibynnol ar ansawdd yr arwyneb y mae'n arnofio arno. Mae Jinan Black Granite and Technical Ceramics yn darparu'r gwastadrwydd eithafol a'r sefydlogrwydd thermol sydd eu hangen i gynnal bwlch aer cyson o 5 μm. Byddai unrhyw warping thermol y swbstrad yn chwalu'r beryn, gan wneud dewis deunydd y penderfyniad peirianneg mwyaf hanfodol.
5. Integreiddio: Cyfuno Bearings Aer gyda Motors Llinol
Er mwyn sicrhau lleoli nanoraddfa cyflymder uchel, rydym yn integreiddio Ironless Linear Motors â chamau cario aer. Mae'r cyfuniad hwn yn dileu "cogio" a grymoedd atyniad magnetig, gan ddarparu'r cynnig glanaf posibl. Yn UNPARALELED, rydym yn darparu'r cynulliad mecanyddol cyflawn, gan gynnwys y sylfaen gwenithfaen, y pucks dwyn aer, a'r rhyngwynebau mowntio modur.
Bearings Aer yn erbyn Canllawiau Llinol Mecanyddol
|
Nodwedd |
Bearings Aer |
Canllawiau Roller Mecanyddol |
|---|---|---|
|
Ffrithiant |
Sero (Statig a Dynamig) |
Canolig (Sticio-effaith llithro) |
|
Gwisgo a Chynnal a Chadw |
Dim |
Uchel (Angen iro) |
|
Datrysiad |
Lefel Nanometer |
Lefel Micron |
|
Dirgryniad |
Eithriadol o Isel |
Uchel (Sŵn Ailgylchrediad) |
|
Graddio Ystafell Glanhau |
Dosbarth 1 (Perffaith) |
Dosbarth 100/1000 (Angen Selio) |
|
Cost |
Premiwm |
Safonol |
FAQ: Technoleg cadw aer
C1: Beth sy'n digwydd os bydd y cyflenwad aer yn methu?
A: Rydym yn defnyddio arwynebau glanio brys neu ryngwynebau ceramig "wedi'u gorchuddio'n galed" i atal difrod. Rydym hefyd yn argymell synwyryddion pwysau sy'n sbarduno stop brys ac yn dal breciau mecanyddol os yw'r pwysedd aer yn disgyn o dan drothwy critigol.
C2: Pa ansawdd aer sydd ei angen ar gyfer y Bearings hyn?
A: Rhaid i'r aer fod wedi'i hidlo, yn sych, ac yn rhydd o olew. Rydym fel arfer yn nodi ansawdd aer ISO 8573 - 1 Dosbarth 1.4.1 i sicrhau nad oes unrhyw ronynnau na lleithder yn rhwystro orifices is-micron y pucks sy'n cario aer.
C3: A all Bearings aer weithio mewn gwactod?
A: Oes, ond mae angen dyluniad wedi'i lwytho ymlaen llaw dan wactod neu seliau pwmpio gwahaniaethol arbenigol i atal yr aer rhag gollwng i'r siambr wactod. Mae'r rhain yn gyffredin mewn offer lled-ddargludyddion EUV uwch.
C4: Sut mae Bearings aer yn trin llwythi trwm?
A: Trwy gynyddu arwynebedd y pucks dwyn a'r pwysedd aer (0.5-0.6 MPa fel arfer), gallwn gynnal llwythi sy'n amrywio o ychydig gramau i sawl tunnell gyda'r un perfformiad di-ffrithiant.
C5: A yw'n anodd gosod camau dwyn aer?
A: Mae angen aliniad manwl gywir arnynt ac arwyneb cyfeirio gwastad iawn. Dyma pam mae UNPARALELED fel arfer yn darparu'r cyfeiriannau aer sydd wedi'u gosod ymlaen llaw a'u profi ar ein seiliau gwenithfaen manwl gywir i sicrhau perfformiad "allan-o'r-blwch".
C6: Beth yw'r brif fantais i weithgynhyrchwyr CMM?
A: Cyflymder a chywirdeb. Mae Bearings aer yn caniatáu i'r stiliwr CMM symud yn llawer cyflymach heb achosi dirgryniadau, gan arwain at gylchoedd archwilio cyflymach a manylder uwch ar gyfer y geometregau cymhleth a geir mewn peiriannau awyrofod modern.